氮化硅是一種無機物，化學式為Si3N4。它是一種重要的結構陶瓷材料，硬度大，本身具有潤滑性，并且耐磨損，為原子晶體;高溫時抗氧化。而且它還能抵抗冷熱沖擊，在空氣中加熱到1000℃以上，急劇冷卻再急劇加熱，也不會碎裂。正是由于氮化硅陶瓷具有如此優(yōu)異的特性，人們常常利用它來制造軸承、氣輪機葉片、機械密封環(huán)、永久性模具等機械構件。如果用耐高溫而且不易傳熱的氮化硅陶瓷來制造發(fā)動機部件的受熱面，不僅可以提高柴油機質量，節(jié)省燃料，而且能夠提高熱效率。中國及美國、日本等國家都已研制出了這種柴油機。

　　氮化硅用做高級耐火材料，如與sic結合作SI3N4-SIC耐火材料用于高爐爐身等部位;如與BN結合作SI3N4-BN材料，用于水平連鑄分離環(huán)。SI3N4-BN系水平連鑄分離環(huán)是一種細結構陶瓷材料，結構均勻，具有高的機械強度。耐熱沖擊性好，又不會被鋼液濕潤，符合連鑄的工藝要求。

　　氮化硅陶瓷制品的生產方法有兩種，即反應燒結法和熱壓燒結法。反應燒結法是將硅粉或硅粉與氮化硅粉的混合料按一般陶瓷制品生產方法成型。然后在氮化爐內，在1150~1200℃預氮化，獲得一定強度后，可在機床上進行機械加工，接著在1350~1450℃進一步氮化18~36h，直到全部變?yōu)榈铻橹埂＿@樣制得的產品尺寸精確，體積穩(wěn)定。熱壓燒結法則是將氮化硅粉與少量添加劑(如MgO、Al2O3、MgF2、AlF3或Fe2O3等)，在19.6MPa以上的壓力和1600~1700℃條件下壓熱成型燒結。通常熱壓燒結法制得的產品比反應燒結制得的產品密度高，性能好。附表1中列出了這兩種方法生產的氮化硅陶瓷的性能。

　　其他應用

　　氮化硅陶瓷材料具有熱穩(wěn)定性高、抗氧化能力強以及產品尺寸精確度高等優(yōu)良性能。由于氮化硅是鍵強高的共價化合物，并在空氣中能形成氧化物保護膜，所以還具有良好的化學穩(wěn)定性，1200℃以下不被氧化，1200~1600℃生成保護膜可防止進一步氧化，并且不被鋁、鉛、錫、銀、黃銅、鎳等很多種熔融金屬或合金所浸潤或腐蝕，但能被鎂、鎳鉻合金、不銹鋼等熔液所腐蝕。

　　氮化硅陶瓷材料可用于高溫工程的部件，冶金工業(yè)等方面的高級耐火材料，化工工業(yè)中抗腐蝕部件和密封部件，機械加工工業(yè)的刀具和刃具等。

　　由于氮化硅與碳化硅、氧化鋁、二氧化釷、氮化硼等能形成很強的結合，所以可用作結合材料，以不同配比進行改性。

　　此外，氮化硅還能應用到太陽能電池中。用PECVD法鍍氮化硅膜后，不但能作為減反射膜可減小入射光的反射，而且，在氮化硅薄膜的沉積過程中，反應產物氫原子進入氮化硅薄膜以及硅片內，起到了鈍化缺陷的作用。這里的氮化硅氮硅原子數目比并不是嚴格的4:3，而是根據工藝條件的不同而在一定范圍內波動，不同的原子比例對應的薄膜的物理性質有所不同。

　　用于超高溫燃氣透平，飛機引擎，電爐等。

　　氮化硅的強度很高，尤其是熱壓氮化硅，是世界上最堅硬的物質之一。它極耐高溫，強度一直可以維持到1200℃的高溫而不下降，受熱后不會熔成融體，一直到1900℃才會分解，并有驚人的耐化學腐蝕性能，能耐幾乎所有的無機酸和30%以下的燒堿溶液，也能耐很多有機酸的腐蝕;同時又是一種高性能電絕緣材料。

　　氮化硅 - 性質　化學式Si3N4。白色粉狀晶體;熔點1900℃,密度3.44克/厘米(20℃);有兩種變體：α型為六方密堆積結構;β型為似晶石結構。氮化硅有雜質或過量硅時呈灰色。

　　氮化硅與水幾乎不發(fā)生作用;在濃強酸溶液中緩慢水解生成銨鹽和二氧化硅;易溶于氫氟酸，與稀酸不起作用。濃強堿溶液能緩慢腐蝕氮化硅，熔融的強堿能很快使氮化硅轉變?yōu)楣杷猁}和氨。氮化硅在 600℃以上能使過渡金屬(見過渡元素)氧化物、氧化鉛、氧化鋅和二氧化錫等還原,并放出氧化氮和二氧化氮。1285℃ 時氮化硅與二氮化三鈣Ca3N2發(fā)生以下反應：

　　Ca3N2+Si3N4─→3CaSiN2

　　氮化硅的制法有以下幾種： 在1300～1400℃時將粉狀硅與氮氣反應; 在1500℃時將純硅與氨作用;

　　在含少量氫氣的氮氣中灼燒二氧化硅和碳的混合物;將SiCl4的氨解產物Si(NH2)4完全熱分解。氮化硅可用作催化劑載體、耐高溫材料、涂層和磨料等。

　　氮化硅陶瓷具有高強度、耐高溫的特點，在陶瓷材料中其綜合力學性能最好，耐熱震性能、抗氧化性能、耐磨損性能、耐蝕性能好，是熱機部件用陶瓷的第一候選材料。在機械工業(yè)，氮化硅陶瓷用作軸承滾珠、滾柱、滾球座圈、工模具、新型陶瓷刀具、泵柱塞、心軸 密封材料等。

　　在化學工業(yè)，氮化硅陶瓷用作耐磨、耐蝕部件。如球閥、泵體、燃燒汽化器、過濾器等。

　　在治金工業(yè)，由于氮化硅陶瓷耐高溫，摩擦系數小，具有自潤滑性。對多數金屬、合金溶液穩(wěn)定，因此，可制作金屬材料加工的工模具，如撥菅芯棒、擠壓、撥絲模具，軋輥、傳送輥、發(fā)熱體夾具、熱偶套營、金屬熱處理支承件、坩堝，鋁液導營、鋁包內襯等。

　　氮化硅陶資材料在電子、軍事和核工業(yè)方面也有廣泛應用。

　　1、氮化硅陶瓷粉末的物理化性能及產品的技術指標

　　氮化硅陶瓷是一種白灰色粉末，分子式為：SI3N4 ;

　　分子重量：140.3 , 密度3.2g/cm³

　　其化學成分：N>38-39;0<1-1.5;C<0.1;Fe<0.2。

　　粒度按用戶要求而定。

　　(一)氮化硅行業(yè)技術概述

　　氮化硅是在人工條件下合成的化合物。雖早在140多年前就直接合成了氮化硅，但當時僅僅作為一種穩(wěn)定的“難熔”的氮化物留在人們的記憶中。二次大戰(zhàn)后，科技的迅速發(fā)展，迫切需要耐高溫、高硬度、高強度、抗腐蝕的材料。經過長期的努力，直至1955年氮化硅才被重視，七十年代中期才真正制得了高質量、低成本，有廣泛重要用途的氮化硅陶瓷制品。

　　我國自80年代中期開始研究氮化硅技術。主要是研究減重效率最高的結構氮化硅材料-多孔氮化硅材料，關于氮化硅復合材料的研究剛剛起步，多孔氮化硅復合材料材料組成體系的理論設計與試驗設計相關研究很少，尚處于摸索階段，受國內外相關研究資料較少的影響，這方面我國的研究一直處于相對落后地位，許多研究單位以及學者多把研究重點放在軍工領域，而其它領域的應用研究基本尚處空白。這方面的研究有待進一步加強。多孔氮化硅陶瓷介電常數預測及其性能影響規(guī)律認識不夠完全，其理論工作與試驗工作的研究都很少。

　　(二)氮化硅制品的生產工藝：

　　氮化硅制品按工藝可以分為反應燒結制品、熱壓制品、常壓燒結制品、等靜壓燒結制品和反應重燒制品等。其中，反應燒結是一種常用的生產氮化硅耐火制品的方法。

　　反應燒結法生產氮化硅制品是將磨細的硅粉(粒度一般小于80μm)，用機壓或等靜壓成型，坯體干燥后，在氮氣中加熱至1350～1400℃，在燒成過程中同時氮化而制得。采用這種生產方法，原料條件和燒成工藝及氣氛條件對制品的性能有很大的影響。

　　硅粉中含有許多雜質，如Fe，Ca，Aì，Ti等。Fe被認為是反應過程中的催化劑。它能促進硅的擴散，但同時，也將造成氣孔等缺陷。Fe作為添加劑的主要作用：在反應過程中可作催化劑，促使制品表面生成SiO2氧化膜;形成鐵硅熔系，氮溶解在液態(tài)FeSi2中，促進β-Si3N4的生成。但鐵顆粒過大或含量過高，制品中也會出現氣孔等缺陷，降低性能。一般鐵的加入量為0～5%。Al，Ca，Ti等雜質，易與硅形成低共熔物。適當的添加量，可以促進燒結，提高制品的性能。

　　硅粉的粒度越細，比表面積越大，則可降低燒成溫度。粒度較細的硅粉與粒度較粗的硅粉相比，制品中含α- Si3N4的量增高。降低硅粉的粒徑，可以降低制品的顯微氣孔尺寸。適當的粒度配比，可以提高制品密度。

　　溫度對氮化速率影響很大。在970～1000℃氮化反應開始，在1250℃左右反應速率加快。在高溫階段，由于是放熱反應，若溫度很快超過硅的熔點(1420℃)，則易出現流硅，嚴重的將使硅粉坯體熔融坍塌。

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